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 > <a href="https://beautyguide.co.kr/jeju/" target=_blank" rel="noopener noreferrer" title="제주웨딩박람회" id="goodLink" class="seo-link">제주웨딩박람회</a>지금까지는 웨이퍼 위에 가로·세로(X·Y 축)로 가상의 선을 그어 검사했다. 웨이퍼 한장당 검사 시간이 1시간씩 걸려 HBM 웨이퍼 전수 검사 걸림돌로 작용했다.
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> SK하이닉스와 코비스는 '스피닝 스캔' 방식을 새로운 장비에 적용, 검사 속도를 끌어올렸다. 마치 레코드 판(LP)이 돌아가 듯 웨이퍼가 회전하면서 빠르게 결함을 파악할 수 있도록 했다. 이를 통해 검사 시간은 웨이퍼 한장 당 10분 안팎으로 크게 줄였다. 검사 시간을 단축하면 제품 출하를 더 빨리 할 수 있다.
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> <a href="https://beautyguide.co.kr/jeju/" target=_blank" rel="noopener noreferrer" title="제주웨딩홀" id="goodLink" class="seo-link">제주웨딩홀</a>양사의 이번 협업은 외산이 주도하던 C-SAM을 국산화한 점에서도 주목된다. 기존 C-SAM 장비 시장은 미국 소닉스와 소노스캔, 일본 히타치가 장악했다. 특히 HBM 웨이퍼용 C-SAM은 사실상 전량 외산에 의존하는데, 국산 장비가 처음으로 HBM 생산 라인에 활용될 것으로 보인다.
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> 코비스테크놀로지 관계자는 “기존 C-SAM 장비는 고속 검사가 어려워 HBM 웨이퍼 전수 검사가 어려웠다”며 “이번 장비로 HBM 생산성 뿐 아니라 빠르게 수율을 높일 수 있게 됐다”고 밝혔다.SK하이닉스는 신규 장비의 생산 라인 적용을 확대할 방침이다. 새로 조성 라인인 뿐 아니라 기존 구공정(레거시) 라인의 노후 장비를 점진적으로 교체할 것으로 알려졌다.
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> <a href="https://beautyguide.co.kr/jeolla/" target=_blank" rel="noopener noreferrer" title="목포웨딩홀" id="goodLink" class="seo-link">목포웨딩홀</a>코비스테크놀로지는 이번 확보한 C-SAM 기술력을 바탕으로 추가 연구개발(R&D)도 추진하고 있다. 특히 미세 결함을 검사 성능 개선에 집중하고 있다. 올해 상반기 중으로 기존 대비 5분의 1 수준의 미세 결함도 파악하도록 장비를 업그레이드해 신규 출시할 계획이다.
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